表面粗糙度测量方法综述

被引:78
作者
刘斌
冯其波
匡萃方
机构
[1] 北京交通大学理学院
[2] 北京交通大学理学院 北京
[3] 北京
关键词
表面粗糙度; 接触式测量; 非接触式测量;
D O I
暂无
中图分类号
TG84 [表面光洁度(表面粗糙度)的测量及其量仪];
学科分类号
0805 ;
摘要
表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌非常重要的一个参数,表面粗糙度测量技术是现代精密测试计量技术的一个重要组成部分。综述了接触式和非接触式两类测量方法,着重介绍了非接触式测量中的几种测量方法的测量原理及其优缺点。
引用
收藏
页码:54 / 58
页数:5
相关论文
共 5 条
[1]   原子力显微镜在纳米粗糙度测量中的应用 [J].
陈英飞 ;
章海军 ;
张冬仙 .
光学仪器, 2003, (04) :25-29
[2]   双波长全息干涉术的实验研究 [J].
张晓青 ;
施涌潮 .
宇航计测技术, 2001, (02) :1-5
[3]   实时全息干涉计量术的发展近况和趋势 [J].
熊秉衡 ;
王正荣 .
激光杂志, 1999, (03) :4-8
[4]  
精密测量技术[M]. 中国计量出版社 , 李岩, 2001
[5]  
Optical Measurement Techniques and Applications .2 Pramod K. Artech House . 1997