980nm高功率垂直腔面发射激光器

被引:19
作者
赵路民
王青
晏长岭
秦莉
刘云
宁永强
王立军
机构
[1] 中国科学院激发态物理开放实验室
[2] 中国科学院激发态物理开放实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
[3] 吉林长春
[4] 吉林大学电子科学与工程学院
[5] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
[6] 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
关键词
激光技术; 半导体激光器; 垂直腔面发射激光器; 分子束外延; 量子阱结构; 氧化工艺;
D O I
暂无
中图分类号
TN248 [激光器];
学科分类号
0803 ; 080401 ; 080901 ;
摘要
研究了 980nm垂直腔面发射激光器 (VCSEL)的结构设计和器件制作 ,实现了室温下的脉冲激射。在脉宽为 5 0 μs,占空比为 5∶10 0 0的脉冲电流下 ,直径 4 0 0 μm的器件输出光功率最高可达 380mW ,发散角小于 10° ,光谱的半高全宽为 0 8nm。
引用
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