多晶硅太阳电池酸腐表面织构的研究

被引：8

作者：

王立建

刘彩池

孙海知

郝秋艳

机构：

[1] 河北工业大学信息功能材料研究所

来源：

光电子激光 | 2007年 / 03期

关键词：

表面织构; 多晶Si; 太阳电池;

D O I：

10.16136/j.joel.2007.03.009

中图分类号：

TM914.4 [太阳能电池];

学科分类号：

080502 ;

摘要：

采用酸腐多晶Si片的方法,获得了各向同性的表面织构。酸腐蚀液选取HF-HNO3混合溶液,并用H3PO4进行改良。分别利用扫描电镜(SEM)和光谱响应系统,分析了腐蚀后多晶Si片的表面形貌和反射率。结果表明,酸腐多晶Si表面分布均匀的蚯蚓状腐蚀坑,反射率很低,在等离子增强化学气相沉积(PECVD)Si3N4减反射膜后,反射率大大下降。

引用

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