力敏元件的静电封接原理与工艺

被引：1

作者：

王秉时

机构：

[1] 浙江海盐胶木电器厂

来源：

关键词：

静电封接; 工艺过程; 压力传感器; 力敏元件; 敏感元件; 硅膜片;

D O I：

10.13873/j.1000-97871991.03.011

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

<正> 静电与传感器及敏感元件,虽表示完全不同的概念,却有着某种内在联系。在电子仪表工业中,静电的影响和危害都是很大的。它是场效应管、集成电路、其它有源器件、磁敏元件、软盘与计算机及部分传感器的大敌。但根据静电产生、静

引用

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