21世纪及1999年微电子技术展望

被引：17

作者：

王阳元

张兴

机构：

[1] 北京大学

来源：

电子科技导报 | 1999年 / 01期

关键词：

微电子技术,限制,集成系统,微光机电系统,DNA芯片;

D O I：

暂无

中图分类号：

F407.63 [电子工业];

学科分类号：

020205 ; 0202 ;

摘要：

展望２１世纪及１９９９年微电子技术的发展。认为２１世纪初的微电子技术仍将以硅基ＣＭＯＳ电路为主流工艺，但将突破目前所谓的物理“限制”；集成系统将取代目前的集成电路得以迅速发展；微电子技术将与其它技术结合形成一系列新的增长点，微光机电系统（ＭＯＭＥＳ）、ＤＮＡ芯片等将得到突飞猛进的发展。１９９９年的微电子技术将在超微细光刻技术、铜互连及低κ互连绝缘介质、高κ栅绝缘介质、ＳＯＩ技术、ＧｅＳｉ和ＧａＮ技术等方面得到快速发展

引用

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