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静电执行的MEMS多层膜材料参数在线提取方法
被引：6
作者：
聂萌
黄庆安
王建华
戎华
李伟华
机构：
[1] 东南大学MEMS教育部重点实验室,东南大学MEMS教育部重点实验室,合肥工业大学理学院,东南大学MEMS教育部重点实验室,东南大学MEMS教育部重点实验室南京,合肥工业大学理学院,合肥,南京,合肥,南京,南京
来源：
关键词：
两端固支梁;
吸合;
材料参数提取;
模拟;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN401 [理论];
学科分类号：
080903 ;
1401 ;
摘要：
基于静电执行结构 ,结合能量法 ,推导出不等宽多层两端固支梁在静电作用下发生吸合 (pull- in)现象时吸合电压的解析表达式 ,并用数值方法进行了拟合修正 ,用 Coventorware软件进行的模拟表明所得拟合表达式具有较高的精度 .由于吸合电压与梁的材料参数和几何尺寸有关 ,通过改变梁的几何尺寸可以得到不同的吸合电压值 ,从而得到梁各层材料的参数 ,即多层膜各层的材料参数
引用
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页码：1537 / 1543
页数：7
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