微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究

被引：4

作者：

李疆

高钟毓

董景新

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系

[2] 清华大学精密仪器与机械学系北京

[3] 北京

来源：

关键词：

微机械; 加速度计; 机械刚度; 频率响应;

D O I：

10.13873/j.1000-97872003.09.043

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

在使用开环频率响应实验求取微机械加速度计挠性梁机械刚度时,不可避免地受到静电负刚度的影响。通过分析预载电压和扫频信号幅值对静电负刚度的影响,提出了从系统刚度中分离出挠性梁机械刚度的计算方法。通过不同实验条件下得到的实验结果,验证了该方法的正确性。

引用

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