光学薄膜表面形貌的原子力显微镜观察

被引：27

作者：

马孜

吕百达

肖琦

代军

机构：

[1] 四川大学电子信息学院!成都,四川大学电子信息学院!成都,西南技术物理所!成都,西南技术物理所!成都

来源：

关键词：

光学薄膜; 表面形貌; 原子力显微镜;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN304 [材料];

学科分类号：

080906 [电磁信息功能材料与结构];

摘要：

采用原子力显微镜 ( AFM) ,对常见的氧化物单层膜、增透膜和高反膜的表面形貌进行了观测 ,并初步研究了激光预处理对薄膜表面形貌的影响。

引用

页码：704 / 708

页数：5

共 5 条

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