离子镀氮化铝钛(TiAlN)的微观组织结构及特性研究

被引:6
作者
王少刚
刘德浚
姚正军
沈星
机构
[1] 南京航空航天大学材料科学与工程系!南京
关键词
离子镀; TiAlN; 微观结构; 性能;
D O I
10.13251/j.issn.0254-6051.2000.03.011
中图分类号
TG174.4 [金属表面防护技术];
学科分类号
080503 ;
摘要
采用空心阴极离子镀方法在高速钢表面沉积TiAlN膜层。性能测试表明 ,TiAlN膜具有较高的硬度和膜 基结合力 ;金相组织观察和扫描电镜表面形貌照片显示 ,制备出的膜层连续、光滑 ,组织致密 ;X射线衍射分析表明 ,膜层的相结构中大致含有以下组成相 :Ti2 AlN、Ti2 N、TiO等。用电子探针对膜层中的元素含量进行了定量测定。
引用
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