云纹法检测变线距光栅的线密度

被引：11

作者：

朱向冰

何世平

付绍军

徐向东

陈瑾

洪义麟

机构：

[1] 中国科学技术大学国家同步辐射实验室

[2] 中国科学技术大学工程科学学院

[3] 安徽师范大学物理系

[4] 中国科学技术大学国家同步辐射实验室安徽合肥安徽师范大学物理系

[5] 安徽芜湖

[6] 安徽合肥

来源：

光学精密工程 | 2002年 / 03期

关键词：

变线距光栅; 线密度; 云纹;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744 [物理光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

变线距光栅在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景 ,它的制作和检测方法尚未成熟 ,本文在介绍变线距光栅线密度变化规律的基础上 ,采用级数形式表达变线距光栅线密度 ,比较了几种测量方法后 ,将云纹法引入变线距光栅的检测中 ,从理论上介绍了几何云纹法和云纹干涉法 ,几何云纹法适合于线密度很低的光栅 ,云纹干涉法适合于线密度较高的光栅 ,云纹的密度反映了光栅的线密度 ,如果云纹非常密 ,精确地测量所有云纹的坐标比较难 ,可以用数云纹数目的方法测出光栅的密度变化 ,就变线距光栅的检测分别给出了有关理论公式 ,并给出实际测量中的光路和初步的结果 ,最后指出这种方法可以用在变线距光栅的加工中

引用

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页数：5

共 7 条

[1] 变栅距衍射光栅的原理及应用 [J].