用于地球物理勘探的MEMS加速度传感器

被引：18

作者：

张宏乐

曹金栋

机构：

[1] 石油地球物理勘探局特种装备勘探处

来源：

石油仪器 | 2002年 / 02期

关键词：

MEMS技术; 加速度传感器; 频率响应; 地震勘探;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

传统速度检波器由于内在结构的限制 ,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/O公司利用MEMS技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性 ,可在检波器内部进行模 /数转换 ,实现检波器数字信号输出。文章对MEMS技术特点及发展现状、MEMS加速度传感器结构及主要技术性能做简要介绍 ,并给出了传统检波器与MEMS加速度传感器野外数据采集的具体实例

引用

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