高效平面全息衍射光栅的获取方法

被引：21

作者：

赵博

齐向东

机构：

[1] 北京大学遥感与地理信息系统研究所!北京

[2] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!吉林长春

来源：

关键词：

全息光栅; 离子刻蚀; 衍射效率;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

从全息衍射光栅的制作原理出发 ,介绍了全息光栅的主要制作方法 ,并与刻划光栅对比分析了全息衍射光栅的诸多优点。通过利用光栅设计的耦合波理论对全息衍射光栅槽型、槽深及槽间距等进行了优化设计 ,同时利用离子束刻蚀技术获得了高效率全息光栅。文中全面分析了制作高效率平面全息光栅的各项关键技术

引用

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页数：6

共 4 条

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