共 1 条
微机电系统(MEMS)的应用
被引：9
作者：
徐毓龙
徐玉成
机构：
[1] 西安电子科技大学室!
来源：
关键词：
微机电系统;
微传感器和微执行器;
电子鼻;
微机械和微结构;
D O I：
10.19708/j.ckjs.1999.01.004
中图分类号：
TP271.4 [];
学科分类号：
0711 ;
071102 ;
081103 ;
081104 ;
摘要：
简要介绍微机电系统在各个领域的应用。
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