W/Mo超晶格薄膜的微结构研究

被引：6

作者：

李戈扬

张流强

许俊华

吴亮

李鹏兴

顾明元

机构：

[1] 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室

[2] 中科院上海冶金研究所

来源：

关键词：

W／Mo纳米多层膜,超晶格,磁控溅射;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

纳米多层膜因常出现物理或力学性能的异常而成为薄膜研究的热点之一。采用ＸＲＤ和ＴＥＭ技术研究了Ｗ／Ｍｏ纳米多层膜微结构。结果表明，Ｗ和Ｍｏ由于同为体心立方结构，且晶格常数相近，由它们交互重叠形成的纳米多层膜具有柱状晶穿过调制界面外延生长的结构特征，形成多晶超晶格结构。

引用

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