衍射微透镜阵列用于面阵半导体激光光束匀化

被引：16

作者：

刘志辉 ^{[1
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杨欢 ^{[1
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石振东 ^{[1
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李国俊 ^{[1
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方亮 ^{[1
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周崇喜 ^{[1
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机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室

[2] 中国科学院大学

来源：

中国激光 | 2014年 / 41卷 / 01期

关键词：

衍射; 半导体激光器; 微透镜阵列; 光束匀化;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN24 [激光技术、微波激射技术];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

提出了一种用衍射微透镜阵列对面阵半导体激光光束进行匀化的方法,解决了折射型微透镜阵列难于实现高填充因子、高精度面型的难题。基于标量衍射理论,设计了具有多阶相位结构的衍射微透镜阵列,推导了半导体激光从输入面到输出面的光场计算公式。数值模拟了非成像型微透镜阵列光束匀化系统,并对其进行了实验验证。当衍射微透镜的口径为0.125mm,相对孔径为0.1,相位台阶数为8时,测得焦斑在快轴方向的不均匀性为12.34%,能量利用率为96.6%;慢轴方向的不均匀性为5.42%,能量利用率为95.74%。实验结果与理论模拟的结果吻合,验证了衍射微透镜阵列光束匀化系统模型的可行性。

引用

页码：27 / 31

页数：5

共 8 条

[1] 基于双曲面基底微透镜阵列的半导体激光器整形系统设计 [J].

殷智勇 ;

汪岳峰 ;

尹韶云 ;

强继平 ;

雷呈强 ;

孙秀辉 ;

杨凯 .

中国激光, 2013, 40 (06) :125-130

[2] 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计 [J].

肖艳芬 ;

朱菁 ;

杨宝喜 ;

胡中华 ;

曾爱军 ;

黄惠杰 .

中国激光, 2013, 40 (02) :248-253

[3] 大功率半导体激光束变发散角整形系统设计方法 [J].

费冰 ;

王悠子 ;

刘涛 ;

孙建 ;

王巍 ;

杜妍 ;

段庸 ;

崔庆丰 .

激光与光电子学进展, 2012, (07) :112-116

[4] 基于微透镜阵列的光束积分系统的性能分析 [J].

殷智勇 ;

汪岳峰 ;

贾文武 ;

杨晓杰 ;

雷呈强 ;

强继平 .

中国激光, 2012, 39 (07) :29-35

[5] 大功率半导体激光器阵列光束光纤耦合研究 [J].

周崇喜 ;

刘银辉 ;

谢伟民 ;

杜春雷 .

中国激光, 2004, (11) :1296-1300

[6] 用消衍射方法改善透镜列阵的辐照均匀性 [J].

丘悦，钱列加，黄宏一，范滇元，邓锡铭 .

中国激光, 1995, (01) :27-31

[7]

傅里叶光学导论.[M].(美) 古德曼 (Goodman;J.W.) ; 著.电子工业出版社.2006,

[8]

二元光学.[M].金国藩等著;.国防工业出版社.1998,

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