减小外差干涉一次谐波非线性误差的方法

被引：10

作者：

陈洪芳 ^{[1
]}

丁雪梅 ^{[1
]}

钟志 ^{[2
]}

谢站磊 ^{[1
]}

岳华 ^{[1
]}

机构：

[1] 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所

[2] 哈尔滨工业大学航天学院通信工程系

来源：

光学学报 | 2007年 / 06期

关键词：

光电子学; 外差干涉; 非线性误差; 角锥棱镜; 一次谐波;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN247 [光检测技术];

学科分类号：

摘要：

为了补偿激光外差干涉纳米测量中的非线性误差,提出了一种减小非线性误差的一次谐波方法。基于全反射理论分析了镀膜实体角锥棱镜反射光偏振特性,并由此推导出角锥棱镜反射光偏振特性及测量角锥棱镜以其运动方向为轴线的轴向旋转对激光外差干涉非线性误差一次谐波的影响模型。理论分析表明,测量角锥棱镜以其运动方向为轴线的轴向旋转会减小非线性误差一次谐波,当测量角锥棱镜轴向旋转97°时,可使非线性误差一次谐波达到最小,约为原有非线性误差一次谐波分量的1/20倍。当激光器出射的两束线偏振光存在6°非正交误差时,镀膜实体测量角锥棱镜轴向旋转角度从0°增加到97°,非线性误差一次谐波由5.30 nm减小到0.30 nm。

引用

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