基于AFM纳米加工机理和方法的研究进展

被引：4

作者：

朱守星

丁建宁

蔡兰

杨继昌

机构：

[1] 江苏大学微米纳米科学技术研究中心

来源：

江苏大学学报(自然科学版) | 2002年 / 03期

关键词：

纳米加工; 原子力显微镜(AFM); 材料;

D O I：

暂无

中图分类号：

O488 [介观物理];

学科分类号：

摘要：

作者介绍了近期基于AFM纳米加工方法的最新研究进展 ,探讨了AFM纳米加工过程中的机理 ,重点分析了利用AFM针尖诱导表面氧化 ,针尖诱导表面改性 ,纳米刻蚀加工 ,纳米化学反应 ,单分子、单原子操纵及纳米结构组装等 6种基于AFM的纳米加工方法 ,为今后纳米信息产品的研究和开发奠定了基础纳米加工技术是一门综合性的交叉学科 ,研究内容涉及到物理学、化学、生物学、材料学以及机械学等许多方面 ,文中不仅指出了现阶段研究中存在的问题 ,并提出了今后需要重视的研究方向

引用

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页数：6

共 5 条

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