多功能阵列式触觉传感器的研究

被引：39

作者：

梅涛

戈瑜

倪礼宾

陈效肯

陈永

倪林

马军

申飞

机构：

[1] 中国科学院合肥智能机械研究所!北京,中国科技大学合肥高等研究院!合肥

来源：

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

140102 [集成电路设计与设计自动化];

摘要：

介绍了一种以MEMS技术制作的可定量获取三维接触力信息的 4× 8阵列触觉传感器的结构与工艺 ,提出一种新颖的三维接触力信息的获取与处理方法 ,并给出了实现接触、分布压、接触总力、滑动状态等多种功能的实验结果和主要的技术指标。

引用

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