一种粗精结合的图像反馈自动调焦方法

自动调焦是保证显微成像系统实时获得清晰图像的关键技术。设计了一套适用于微操纵系统的自动调焦装置,该装置借助对图像清晰度评价来自动搜索到正焦面。对图像清晰度的评价采用了Krisch边缘梯度函数和高频分量函数相结合的方法,边缘梯度函数用于大步距粗调焦,高频分量函数用于小范围内小步距精调焦。这种方法既提高了效率,又克服了噪声的干扰。通过对不同微器件的多次调焦实验验证,该方法的调焦误差最大达到6um,满足了成像系统的要求。