微小电容检测技术在重力敏感器中的应用研究

被引:6
作者
刘万国
杨功流
肖乾
机构
[1] 天津航海仪器研究所
[2] 哈尔滨工程大学 天津
[3] 天津
[4] 哈尔滨
关键词
重力敏感器; 微小电容; 交流电桥; 杂散电容;
D O I
10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2005.01.016
中图分类号
U666.1 [导航设备];
学科分类号
081105 ;
摘要
对几种微小电容检测的方法进行了探讨,详细地阐述了交流电桥法微小电容检测的原理,分析了测量误差和相应的解决方法,为重力敏感器中的微小电容检测技术的实现奠定了基础。
引用
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