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射频ICP离子源设计研究
被引：9
作者：
许沭华
任兆杏
沈克明
翁坚
机构：
[1] 中国科学院等离子体物理研究所
来源：
关键词：
射频;
离子源;
感应耦合等离子体(ICP);
D O I：
10.13922/j.cnki.cjovst.2002.04.017
中图分类号：
TN304.055 [];
学科分类号：
摘要：
本文介绍了射频 (RF)感应耦合等离子体 (ICP)离子源的设计研究。对RFICP的结构、离子流的引出以及离子流的均匀性、中性化和射频匹配网络进行了研究。
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