微机电系统(MEMS)促进测量学发展

被引：5

作者：

黄俊钦

机构：

[1] 北京航空航天大学!北京

来源：

关键词：

微机电系统; MEMS; 测量学;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2001.01.030

中图分类号：

TH701 [理论];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

本文从纳米、超微角位移测量 ,及力学、声学、医学测量诸方面说明 MEMS促进测量学的发展。通过所举范例 ,可以看出MEMS在各方面促进测量学发展及其深远的科学意义。其中超微角位移测量的构想以往资料未见 ,是创新

引用

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