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- [31] FREESTANDING SILICON MICROSTRUCTURES FABRICATED BY LASER CHEMICAL-PROCESSING[J]. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1993, 73 (11) : 7864 - 7871WESTBERG, HBOMAN, MJOHANSSON, SSCHWEITZ, JA
Silicon micromachining - Sensors to systems
被引：76
作者：
Kovacs, GTA
[1
]
Petersen, K
[1
]
Albin, M
[1
]
机构：
[1] STANFORD UNIV, STANFORD, CA 94305 USA
关键词：
D O I：
10.1021/ac961977i
中图分类号：
O65 [分析化学];
学科分类号：
070302 ;
081704 ;
摘要：
引用
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页码：A407 / A412
页数：6
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