20-nm-resolution soft x-ray microscopy demonstrated by use of multilayer test structures (vol 28, pg 2019, 2003)

被引：4

作者：

Chao, WL ^{[1
]}

Anderson, E

Denbeaux, GP

Harteneck, B

Liddle, JA

Olynick, DL

Pearson, AL

Salmassi, F

Song, CY

Attwood, DT

机构：

[1] Berkeley Natl Lab, Ctr Xray Opt, Berkeley, CA 94720 USA

[2] Univ Calif Berkeley, Dept Elect Engn & Comp Sci, Berkeley, CA 94720 USA

[3] Lawrence Berkeley Lab, Natl Ctr Electron Microscopy, Berkeley, CA 94720 USA

来源：

关键词：

D O I：

10.1364/OL.28.002530

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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