Fully ultrahigh-vacuum-compatible fabrication of submicrometer-spaced electrical contacts (vol 77, art no 026101, 2006)

被引：2

作者：

Gaertner, C. ^{[1
]}

Hoffmann, R.

Perez-Willard, F.

Sauter, M.

Suergers, C.

von Loehneysen, H.

机构：

[1] Univ Karlsruhe, Inst Phys, D-76128 Karlsruhe, Germany

[2] Univ Karlsruhe, DFG Ctr Funct Nanostruct, D-76128 Karlsruhe, Germany

[3] Univ Karlsruhe, Electron Microscopy Lab, D-76128 Karlsruhe, Germany

[4] Forschungszentrum Karlsruhe, Inst Festkorperphys, D-76021 Karlsruhe, Germany

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.2234857

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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