Polymeric microelectromechanical systems

被引:276
作者
Soper, SA [1 ]
Ford, SM [1 ]
Qi, S [1 ]
McCarley, RL [1 ]
Kelly, K [1 ]
Murphy, MC [1 ]
机构
[1] Louisiana State Univ, Dept Chem, Baton Rouge, LA 70803 USA
关键词
D O I
10.1021/ac0029511
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:642A / 651A
页数:10
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共 32 条
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Ueno N, 1996, OPTOELECTRON-DEVICES, V11, P91
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VLADIMIRSKY Y, 1993, MATER RES SOC SYMP P, V306, P21, DOI 10.1557/PROC-306-21