OPTIMIZATION OF TIN OXIDE THIN-FILM PREPARATION VIA GAS-PHASE TRANSPORT

被引:25
作者
MANIFACIER, JC [1 ]
MURCIA, MD [1 ]
FILLARD, JP [1 ]
机构
[1] UNIV SCI & TECH LANGUEDOC,CNRS,CTR ETUDES ELECTR SOLIDES,MONTPELLIER,FRANCE
关键词
D O I
10.1016/0025-5408(75)90029-X
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:1215 / 1220
页数:6
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