MEASUREMENT OF THE ELECTRON-DENSITY AND THE ATTACHMENT RATE COEFFICIENT IN SILANE HELIUM DISCHARGES

被引：32

作者：

FLEDDERMANN, CB

BEBERMAN, JH

VERDEYEN, JT

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.336105

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1344 / 1348

页数：5

共 8 条

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