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APPLICATION OF FACTOR-ANALYSIS TO ELEMENTAL DETECTION LIMITS IN SPUTTER DEPTH PROFILING

被引：51
作者：
GAARENSTROOM, SW
机构：
来源：
APPLIED SURFACE SCIENCE | 1986年 / 26卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1016/0169-4332(86)90127-3
中图分类号：
O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];
学科分类号：
070304 ; 081704 ;
摘要：
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页码：561 / 574
页数：14
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