EARLY DAYS OF MAGNETRON SPUTTERING - AN ENIGMA

被引：6

作者：

PENFOLD, AS

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(89)90037-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：99 / 108

页数：10

共 27 条

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