SURFACE STUDIES ON AS-DEPOSITED A-SI-H FILMS

被引：3

作者：

FOLLER, M

HERION, J

BEYER, W

WAGNER, H

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3093(85)90824-5

中图分类号：

TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：979 / 982

页数：4

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共 3 条

ABELSON, J ;

DEROSNY, G .

JOURNAL DE PHYSIQUE, 1983, 44 (08) :993-1003

[2]

BEYER W, 1984, SEMICONDUCTORS SEM C, V21

MOORE, AR .