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ELECTRONICALLY DRIVEN RECONSTRUCTION OF TAC(100)

被引：36
作者：
NOONAN, JR
DAVIS, HL
GRUZALSKI, GR
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1116/1.574345
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ; 080502 ;
摘要：
引用
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页码：787 / 789
页数：3
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共 13 条
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