ABSOLUTE MEASUREMENT OF LOW-ENERGY ELECTRON DEPOSITION PROFILES IN SEMI-INFINITE GEOMETRIES

被引:8
作者
LOCKWOOD, GJ [1 ]
MILLER, GH [1 ]
HALBLEIB, JA [1 ]
机构
[1] SANDIA LABS,ALBUQUERQUE,NM 87115
关键词
D O I
10.1109/TNS.1973.4327415
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:326 / 330
页数:5
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