NEW IMAGING AND DEFLECTION CONCEPT FOR PROBE-FORMING MICROFABRICATION SYSTEMS

被引：42

作者：

PFEIFFER, HC ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,SYST PROD DIV,HOPEWELL JUNCTION,NY 12533

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568485

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1170 / 1173

页数：4

相关论文

共 5 条

[1] AUTOMATIC STABILIZATION OF AN ELECTRON-PROBE FORMING SYSTEM
DORAN, S
PERKINS, M
STICKEL, W
[J]. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1975, 12 (06): : 1174 - 1176
[2] PFEIFFER HC, 1970, 7TH INT C EL MICR GR, P63
[3] PFEIFFER HC, 1971, 11TH P S EL ION LAS, P239
[4] PFEIFFER HC, 1972, 5TH P ANN SCANN EL M, P113
[5] PFEIFFER HC, 1974, 8TH INT C EL MICR CA, P56