AUTOMATIC STABILIZATION OF AN ELECTRON-PROBE FORMING SYSTEM

被引：9

作者：

DORAN, S ^{[1
]}

PERKINS, M ^{[1
]}

STICKEL, W ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,SYST PROD DIV,HOPEWELL JUNCTION,NY 12533

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568486

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1174 / 1176

页数：3

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共 4 条

[1] KURZWELL F, 1967, 9TH P S EL ION LAS B
[2] NEW IMAGING AND DEFLECTION CONCEPT FOR PROBE-FORMING MICROFABRICATION SYSTEMS
PFEIFFER, HC
[J]. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1975, 12 (06): : 1170 - 1173
[3] EMISSION CHARACTERISTICS OF A LAB6 ELECTRON-GUN
STICKEL, W
PFEIFFER, HC
[J]. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1973, 10 (06): : 1128 - 1128
[4] STICKEL W, 1973, 12TH P S EL ION LAS, pA15