THE SIDEWALL RESISTOR - A NOVEL TEST STRUCTURE TO RELIABLY EXTRACT SPECIFIC CONTACT RESISTIVITY

被引：1

作者：

LOH, WM

WRIGHT, PJ

SCHREYER, TA

SWIRHUN, SE

SARASWAT, KC

MEINDL, JD

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1986.26445

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：477 / 479

页数：3

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共 3 条

[1] CONTACT RESISTANCE AND CONTACT RESISTIVITY [J].

BERGER, HH .

[2]

Loh W. M., 1985, International Electron Devices Meeting. Technical Digest (Cat. No. 85CH2252-5), P586

SWIRHUN, SE ;

LOH, WM ;

SWANSON, RM ;

SARASWAT, KC .