A DIRECT MEASUREMENT TECHNIQUE FOR SMALL GEOMETRY MOS-TRANSISTOR CAPACITANCES

被引:19
作者
WENG, KCK
YANG, P
机构
关键词
D O I
10.1109/EDL.1985.26035
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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共 5 条
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