SPURIOUS EFFECTS CAUSED BY CONTINUOUS RADIATION AND EJECTED ELECTRONS IN X-RAY LITHOGRAPHY

被引：38

作者：

MALDONADO, JR ^{[1
]}

COQUIN, GA ^{[1
]}

MAYDAN, D ^{[1
]}

SOMEKH, S ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568531

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1329 / 1331

页数：3