Laser-Induced Deposition of Copper from (Triethylphosphine)cyclopentadienyl-copper(I)

被引:41
作者
Dupuy, C. G. [1 ]
Beach, D. B. [1 ]
Hurst, J. E., Jr. [1 ]
Jasinski, J. M. [1 ]
机构
[1] IBM Res Div, Thomas J Watson Res Ctr, POB 218, Yorktown Hts, NY 10598 USA
关键词
D O I
10.1021/cm00001a008
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
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