NB3AL FORMATION IN SPUTTER-DEPOSITED NB/AL MULTILAYER SAMPLES

被引:12
作者
IM, YS [1 ]
JOHNSON, PE [1 ]
MCKNELLY, LT [1 ]
MORRIS, JW [1 ]
机构
[1] UNIV CALIF BERKELEY LAWRENCE BERKELEY LAB,CTR ADV MAT,BERKELEY,CA 94720
来源
JOURNAL OF THE LESS-COMMON METALS | 1988年 / 139卷 / 01期
关键词
D O I
10.1016/0022-5088(88)90332-3
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
引用
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共 12 条
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