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APPLICATION OF TITANIUM POLYCIDE INTERCONNECTS IN A SILICON-GATE PROCESS

被引：3
作者：
GILFILLAN, CD
SPINELLA, S
机构：
[1] General Instrument Corp, Chandler,, AZ, USA, General Instrument Corp, Chandler, AZ, USA
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1984年 / 2卷 / 04期
关键词：
D O I：
10.1116/1.582870
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
8
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页码：730 / 732
页数：3
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