COUPLING OF A MASS-SPECTROMETER TO A PROCESS-CONTROL COMPUTER FOR DEPOSITION CONTROL OF SUPERCONDUCTING ALLOYS

被引：2

作者：

LUTZ, H ^{[1
]}

DIMMLER, DG ^{[1
]}

STROZIER, J ^{[1
]}

WIESMANN, H ^{[1
]}

STRONGIN, M ^{[1
]}

机构：

[1] BROOKHAVEN NATL LAB,UPTON,NY 11973

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568924

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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