SURFACE ENRICHMENT OF COPPER DUE TO KEV XE SPUTTERING OF AN AL-CU MIXTURE

被引:46
作者
CHU, WK [1 ]
HOWARD, JK [1 ]
LEVER, RF [1 ]
机构
[1] IBM CORP,DIV SYST PROD,HOPEWELL JUNCTION,NY 12533
基金
美国国家科学基金会;
关键词
D O I
10.1063/1.322420
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:4500 / 4503
页数:4
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