PEROXOPOLYTUNGSTIC ACIDS - A NEW INORGANIC RESIST MATERIAL

被引：31

作者：

OKAMOTO, H

IWAYANAGI, T

MOCHIJI, K

UMEZAKI, H

KUDO, T

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.97147

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：298 / 300

页数：3

共 7 条

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