OPTICAL-SYSTEM FOR A LOW-ENERGY FOCUSED ION-BEAM

被引：17

作者：

AIHARA, R ^{[1
]}

KASAHARA, H ^{[1
]}

SAWARAGI, H ^{[1
]}

SHEARER, MH ^{[1
]}

THOMPSON, WB ^{[1
]}

机构：

[1] JEOL USA INC,PEABODY,MA 01960

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1989年 / 7卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.584699

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页数：4