PLASMA-ENHANCED CVD SILICON-NITRIDE ANTI-REFLECTION COATINGS FOR SOLAR-CELLS

被引：29

作者：

JOHNSON, CC ^{[1
]}

WYDEVEN, T ^{[1
]}

DONOHOE, K ^{[1
]}

机构：

[1] TEGAL CORP,NOVATO,CA 94947

来源：

SOLAR ENERGY | 1983年 / 31卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1016/0038-092X(83)90133-0

中图分类号：

TE [石油、天然气工业]; TK [能源与动力工程];

学科分类号：

0807 ; 0820 ;

摘要：

引用

页码：355 / 358

页数：4

共 9 条

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