EFFECTS RELATED TO RECOIL IMPLANTATION EXPERIMENTS

被引：6

作者：

MAILLOT, B

BRUEL, M

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1983年 / 209卷 / MAY期

关键词：

D O I：

10.1016/0167-5087(83)90871-2

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：707 / 710

页数：4

共 5 条

[1] RECOIL IMPLANTATION OF ANTIMONY IN SILICON [J].

BRUEL, M ;

FLOCCARI, M ;

GAILLIARD, JP .

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS, 1981, 182 (APR) :93-96

[2]

BRUEL M, 1978, DGRSTCCM7872096 RAPP

[3]

MAILLOT B, 1982, THESIS GRENOBLE

MAYER, JW ;

TSAUR, BY ;

LAU, SS ;

HUNG, LS .

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS, 1981, 182 (APR) :1-13

[5] ION-BOMBARDMENT INDUCED INTERFACE MIXING IN THE AG-SI SYSTEM [J].

TOGNETTI, NP ;

WEBB, RP ;

CHRISTODOULIDES, CE ;

ARMOUR, DG ;

CARTER, G .

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS, 1981, 182 (APR) :107-114