ON THE THEORY OF ELECTRON-BEAM-INDUCED CURRENT CONTRAST FROM POINTLIKE DEFECTS IN SEMICONDUCTORS

被引：31

作者：

JAKUBOWICZ, A ^{[1
]}

机构：

[1] MAX PLANCK INST FESTKORPERFORSCH,D-7000 STUTTGART 80,FED REP GER

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.334516

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1194 / 1199

页数：6

共 7 条

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