MAGNETRON REACTIVE SPUTTERING OF COPPER INDIUM SELENIDE

被引:28
作者
THORNTON, JA [1 ]
LOMMASSON, TC [1 ]
机构
[1] UNIV ILLINOIS,DEPT MAT SCI,URBANA,IL 61801
来源
SOLAR CELLS | 1986年 / 16卷 / 1-4期
关键词
D O I
10.1016/0379-6787(86)90082-7
中图分类号
TE [石油、天然气工业]; TK [能源与动力工程];
学科分类号
0807 ; 0820 ;
摘要
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页码:165 / 180
页数:16
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共 21 条
[21]  
THORNTON JA, 1984, 18TH P IEEE PHOT SPE, P781