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1.55 MU-M DFB LASER ARRAY WITH LAMBDA-4-SHIFTED 1ST-ORDER GRATINGS FABRICATED BY X-RAY-LITHOGRAPHY
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作者
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NAKAO, M
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NAKAO, M
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来源
:
ELECTRONICS LETTERS
|
1989年
/ 25卷
/ 02期
关键词
:
D O I
:
10.1049/el:19890107
中图分类号
:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
:
0808 ;
0809 ;
摘要
:
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: 80
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SEKIMOTO M, 1984, 16TH INT C SOL STAT, P23
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SHIBAYA A, 1988, AD HOC M SRI 88 TSUK
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MOVPE-GROWN 1.5 MU-M DISTRIBUTED FEEDBACK LASERS ON CORRUGATED INP SUBSTRATES
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A PLASMA X-RAY SOURCE FOR X-RAY-LITHOGRAPHY
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[5]
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[6]
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